正确答案: C

t成正比

题目：当二氧化硅膜很薄时，膜厚与时间（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

快速扩散杂质

[多选题]有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。

负胶受显影液的影响比较小

正胶的曝光区将会膨胀变形

使用负胶可以得到更高的分辨率

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

入射离子的能量

入射离子的质量

入射离子的原子序数

靶原子的质量、原子序数、原子密度

注入离子的总剂量

[多选题]下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。

注入离子的质量

靶的种类

注入温度

注入速度

[单选题]（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

BCl3

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

重离子加速器

[单选题]（）是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。

晶核