正确答案: A

能量淀积

题目：损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]企业的战略一般由四个要素组成，即经营范围、资源配置、竞争优势以及协同合作，其中协同合作是指企业通过共同的努力达到（）。

分力之和大于简单相加的结果

[多选题]在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。

均匀性

表面平整度

自由应力

纯净度

电容

[单选题]用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

首要步骤

[单选题]铜互连金属多层布线中，磨料的粒径一般为（）。

20~30nm