正确答案: D

自扩散

题目：在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

Na

[单选题]目前，最广泛使用的退火方式是（）。

热退火

[单选题]硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。

粒子的扩散

[多选题]为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

低电阻率

易与p或n型硅形成欧姆接触

易于光刻

便于进行键合

[单选题]在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

二氧化锰

[多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

电气测量仪表的结构简单，使用方便

电气测量仪表有足够的准确度

电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录

可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件

能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量