正确答案: AB

光刻胶 衬底

题目：通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。

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[单选题]下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。

显影液的溶解度

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

液氮冷阱

[单选题]请在下列选项中选出硅化金属的英文简称：（）。