[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。

正确答案 ：C

10～40min

[多选题]关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

正确答案 ：BCE

正胶的感光区域溶解

负胶的感光区域不溶解

负胶的非感光区域溶解

[单选题]在生产过程中必须使用（）来完成浅沟槽隔离STI。

正确答案 ：A

单晶硅刻蚀

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