正确答案: B

热传导真空计

题目：thermal conductivity gauge的意思是（）。

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学习资料的答案和解析：

[多选题]光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

树脂

感光剂

溶剂

[单选题]在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。

深度

[单选题]离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。

洛仑兹力

[单选题]为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

铝硅铜合金

[单选题]由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

几万伏

[多选题]净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。

一般排气系统

制程排气系统

[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

18.3A