• [单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。
  • 正确答案 :B
  • 非结晶形态


  • [单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
  • 正确答案 :B
  • 均匀性


  • [多选题]以()等两层材料所组合而成的导电层便称为Polycide。
  • 正确答案 :BC
  • 多晶硅

    硅化金属


  • [多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。
  • 正确答案 :ABCDE
  • 电路图形结构的凹凸

    尺寸大小

    位置分布

    高度

    密集程度


  • [单选题]为了保证保护装置能可靠地动作,27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。()
  • 正确答案 :A
  • 18.3A


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