[单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。
正确答案 :B
非结晶形态
[单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
正确答案 :B
均匀性
[多选题]以()等两层材料所组合而成的导电层便称为Polycide。
正确答案 :BC
多晶硅
硅化金属
[多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。
正确答案 :ABCDE
电路图形结构的凹凸
尺寸大小
位置分布
高度
密集程度
[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作,27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。()
正确答案 :A
18.3A
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