正确答案: D

微缺陷

题目：（）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。

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[单选题]通过（）改变驱动力场，借以控制生长系统中的成核率，这是晶体生长工艺中经常使用的方法。

A、温度场

[单选题]Si中掺金的工艺主要用于制造（）器件。

高频