正确答案: A

电性能

题目：外壳设计包括（）设计、热性能设计和结构设计三部分，而可靠性设计也包含在这三部分中间。

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[单选题]溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

带能离子

[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。

余误差