正确答案: A

正确

题目：抛光片的电学参数包括电阻率，载流子浓度，迁移率，直径、厚度、主参考面等。（）

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[单选题]属于绝缘体的正确答案是（）。

橡胶、塑料、玻璃、云母、陶瓷

[多选题]硅外延生长工艺包括（）。

衬底制备

原位HCl腐蚀

生长温度，生长压力，生长速度

尾气的处理