正确答案: ACE

正胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率高于负胶 负胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率不会降低 负胶在显影时会发生膨胀，导致了分辨率的降低

题目：关于正胶和负胶的特点，下列说法正确的是（）。

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[单选题]在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。

石英舟

[单选题]化合物半导体砷化镓常用的施主杂质是（）。

锡

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。

10～40min

[单选题]离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

加速器