正确答案: AC

一般排气系统 制程排气系统

题目：净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。

查看原题 查看所有试题

学习资料的答案和解析：

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。

DQN

[多选题]涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。

进行去水烘烤以保证晶片干燥

在晶片表面涂上增粘剂以保证晶片黏附性好

刚刚处理好的晶片应立即涂胶

贮存的晶片在涂胶前必须再次清洗及干燥

[单选题]铜与氯形成的化合物挥发能力不好，因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行，而必须施以（）。

溅射刻蚀

[单选题]（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。

PVD