正确答案:

题目：镀层增宽是在图形电镀时产生的，增宽严重时会产生导线（）。

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[多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。

等离子体蚀刻系统的形态

等离子体蚀刻的参数

光刻胶