[单选题]一般分析扩散系数，考虑两种条件，即恒定表面浓度条件和（）。

正确答案 ：A

恒定总掺杂剂量

[多选题]晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

正确答案 ：ABCE

除去光刻胶中剩余的溶剂

增强光刻胶对晶片表面的附着力

提高光刻胶的抗刻蚀能力

减少光刻胶的缺陷

[单选题]硅烷的分子式是（）。

正确答案 ：B

SiH4

[单选题]Torr是指（）的单位。

正确答案 ：A

真空度

[多选题]通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。

正确答案 ：AB

光刻胶

衬底

[单选题]单晶硅刻蚀一般采用（）做掩蔽层，以氟化氢为主要的刻蚀剂，氧气为侧壁钝化作用的媒介物。

正确答案 ：B

二氧化硅

[单选题]化学气相沉积的英文名称的缩写为（）。

正确答案 ：C

CVD

[单选题]物理气相沉积简称（）。

正确答案 ：D

PVD

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