[单选题]二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。

正确答案 ：A

降低

[多选题]一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。

正确答案 ：ABCE

产生一个离子并导向靶

被轰击的原子向硅晶片运动

离子把靶上的原子轰出来

原子在硅晶片表面凝结

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