正确答案: A
正确
题目:换电时先关机械泵,再关预阀,后关扩散泵。
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学习资料的答案和解析:
[多选题]镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是()
A、使同圈的膜层厚度分布均匀
B、使内外排膜层厚度分布均匀
C、使同圈温度分布均匀
D、使内外排温度分布均匀
[单选题]下列那个符号代表光控()。
A、OPM
[单选题]每台机器安装修正板的目的是()。
C、调整内外排膜厚分布
[单选题]如果加热板下方的温度探头移位,比正常时要低许多,结果镜片温度将会:()
B、比正常时高
[多选题]晶振不好会导致以下哪些结果()。
A、整罩分光特性超差
C、表面不好