正确答案: A

正确

题目：手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。

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[单选题]流程卡表面质量

A、点子大小

[单选题]如果加热板下方的温度探头移位，比正常时要低许多，结果镜片温度将会：（）

B、比正常时高