正确答案: ABD

砷化氢 二硼化氢 硅烷

题目：离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

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[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

生长的二氧化硅薄膜均匀性好

生长的二氧化硅干燥

生长的二氧化硅结构致密

生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

四探针技术

[单选题]Torr是指（）的单位。

真空度

[单选题]（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

蒸镀

[单选题]用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

首要步骤

[单选题]由于离子交换树脂反应，它既可以去除水中杂质离子，又可以将失效树脂进行处理，恢复交换能力，所以称为（）反应。

可逆