[单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

正确答案 ：B

非结晶形态

[多选题]按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

正确答案 ：ABD

光学曝光

离子束曝光

电子束曝光

[多选题]哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

正确答案 ：ADE

低温注入

分子注入

双注入

[多选题]直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

正确答案 ：BC

抽真空后再充入某种低压气体的玻璃管

两个电极

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