[多选题]镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是（）

正确答案 ：ABCD

A、使同圈的膜层厚度分布均匀

B、使内外排膜层厚度分布均匀

C、使同圈温度分布均匀

D、使内外排温度分布均匀

[多选题]油扩散泵上面加冷阱，其作用是（）。

正确答案 ：AD

防止扩散油分子回流到真空室

提高膜层附着力

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