正确答案: A

A、OPM

题目：下列那个符号代表光控（）。

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[单选题]为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞，故真空室内真空度要到达10-3Pa以下，以满足（）条件

B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离

[多选题]真空室内部清扫不干净，可能会导致以下哪些结果？（）

A、机器抽速慢

B、产品表面质量差

C、机器效率降低

D、分光特性不重复