[多选题]关于正胶和负胶的特点，下列说法正确的是（）。

正确答案 ：ACE

正胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率高于负胶

负胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率不会降低

负胶在显影时会发生膨胀，导致了分辨率的降低

[单选题]晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

正确答案 ：B

极小值

[多选题]电荷积分仪的基本单元包括（）。

正确答案 ：ABCD

I-V转换

V-f转换

十进制计数电路

控制电路

[单选题]晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。

正确答案 ：C

栅氧化层

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