[单选题]腐蚀二氧化硅的水溶液一般是用（）

正确答案 ：D

D、氢氟酸

[单选题]从离子源引出的是：（）

正确答案 ：D

D、离子束

[单选题]将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触，再用紫外光照射来进行曝光的方法，称为（）曝光。

正确答案 ：A

接触

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