[单选题]二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。

正确答案 ：A

降低

[单选题]晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

正确答案 ：B

极小值

[单选题]一般用（）测量注入的剂量。

正确答案 ：D

电荷积分仪

[单选题]悬浮在空气中的颗粒称为（）。

正确答案 ：D

浮质

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