正确答案: A

源蒸气

题目：恒定表面浓度的条件下，在整个扩散期间，（）保持恒定表面浓度。

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[多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

加强工艺操作

加强人体和环境卫生

使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备

采用HCl氧化工艺

硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

[单选题]由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

几万伏