[多选题]下列材料属于N型半导体是（）。

正确答案 ：AC

硅中掺有元素杂质磷（P）、砷（As）

砷化镓掺有元素杂质硅（Si）、碲（TE）

[多选题]硅外延生长工艺包括（）。

正确答案 ：ABCD

衬底制备

原位HCl腐蚀

生长温度，生长压力，生长速度

尾气的处理

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