[多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

正确答案 ：ABCDE

比色法

双光干涉法

椭圆偏振光法

腐蚀法

电容-电压法

[单选题]我们可以通过简单的结深测量和（）测量来获得扩散层的重要信息。

正确答案 ：C

薄层电阻

[单选题]下列材料中电阻率最低的是（）。

正确答案 ：D

金

[多选题]按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

正确答案 ：ABC

真空蒸发

离子束蒸发

电子束蒸发

[单选题]在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

正确答案 ：A

二氧化锰

查看原题 查看所有试题