[单选题]反应离子腐蚀是（）。

正确答案 ：C

物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合

[单选题]pn结的击穿电压和反向漏电流既是晶体管的重要直流参数，也是评价（）的重要标志。

正确答案 ：A

扩散层质量

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