正确答案: A

正确

题目：坩埚挡板装偏了会导致漏料问题。

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[多选题]下列哪些因素影响内外排的均匀性？（）

A、电子枪光斑的位置

B、电子枪光斑的形状、大小

D、修正板的形状和上升高度

[单选题]下列那个符号代表光控（）。

A、OPM

[单选题]关门抽真空，一般当真空度抽到（）时开始自动预熔膜料。

B、5.0E-3Pa