正确答案: BD
改变导电类型 改变材料性质
题目:半导体芯片生产中,离子注入主要是用来()。
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[多选题]下列扩散杂质源中,()不仅是硅常用的施主杂质,也是锗常用的施主杂质。
锑
磷
[多选题]下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有()。
BCl3
Cl2
[单选题]在半导体器件制造中,对清洗用水的纯度有比较高的要求,要用经过纯化的()作为清洁用水。
去离子水
[单选题]我们可以从测量去离子水的酸度来判别阴阳树脂谁先失效,阴树脂先失效,水呈()性。
酸