正确答案: D

二氧化硅

题目：在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

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学习资料的答案和解析：

[单选题]thermal conductivity gauge的意思是（）。

热传导真空计

[单选题]硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。

钠

[多选题]属于铝的性质有（）。

电阻低

对硅氧化物有很好的黏合性

有很高的纯度

易于光刻

[多选题]为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

低电阻率

易与p或n型硅形成欧姆接触

易于光刻

便于进行键合