[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

正确答案 ：B

900～1050℃

[多选题]离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

正确答案 ：ABD

砷化氢

二硼化氢

硅烷

[多选题]铜与铝相比较，其性质有（）。

正确答案 ：ACE

铜的电阻率比铝小

铝的抗电迁移能力较弱

铜可以在低温下淀积

[多选题]下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有（）。

正确答案 ：BC

BCl3

Cl2

[单选题]请在下列选项中选出硅化金属的英文简称：（）。

正确答案 ：

[单选题]将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

正确答案 ：A

自上而下

[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

正确答案 ：A

18.3A

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