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[多选题]硅外延生长工艺包括()。
正确答案 :
ABCD
衬底制备
原位HCl腐蚀
生长温度,生长压力,生长速度
尾气的处理
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大容量可编程逻辑器件分为()和()。
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双极晶体管中只有一种载流子(电子或空穴)传输电流。()
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