正确答案: A

化学增强

题目：在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

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[多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。

玻璃器皿

高温器材

人体沾污

化学试剂

去离子水

[单选题]在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。

真空热平板传导法

[单选题]决定吸附原子彼此间能否形成一个稳定的核团，以便于进行凝结的主要因素主宰于所形成的核团是否（）而定。

稳定