半导体芯片制造中级工题库2022模拟冲刺试卷155

1. [单选题]位错的形成原因是（）。

A. 位错就是由弹性形变造成的
B. 位错就是由重力造成的
C. 位错就是由范性形变造成的
D. 以上答案都不对

2. [多选题]硅外延生长工艺包括（）。

A. 衬底制备
B. 原位HCl腐蚀
C. 生长温度，生长压力，生长速度
D. 尾气的处理

3. [单选题]人们规定：（）电压为安全电压.

A. 36伏以下
B. 50伏以下
C. 24伏以下

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