真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。

【名词&注释】

光刻胶、真空镀膜(vacuum coating)、衬底加热器

[单选题]真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。

A. 衬底加热器
B. 抽气系统
C. 真空室
D. 蒸气源加热器

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学习资料：

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。

A. DQN
B. CA
C. ARC
D. PMMA

[单选题]由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

A. 几伏
B. 几十伏
C. 几百伏
D. 几万伏

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