微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

【名词&注释】

扫描电镜(sem)、测厚仪(thickness gauge)、微电子(microelectronics)、水蒸汽(steam)、氧化铬(chromium oxide)、干涉显微镜(interference microscope)、干氧氧化(dry oxidation)、之所以(the reason that)、速度慢(slow speed)

[多选题]微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A. 台阶仪
B. 干涉显微镜
C. 光切显微镜
D. 扫描电镜
E. 椭偏仪

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学习资料：

[单选题]干氧氧化^{(dry oxidation)}法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

A. 生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B. 氧化的速度慢^{(slow speed)}
C. 生长的二氧化硅缺陷多
D. 生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

[多选题]去正胶常用的溶剂有（）

A. 丙酮
B. 氢氧化钠溶液
C. 丁酮
D. 甲乙酮
E. 热的氯化碳氢化合物

[单选题]金相学的研磨之所以^{(the reason that)}会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。

A. 氧化铬磨料溶水制成的研磨液
B. 使用羊毛研磨垫
C. 采用旋转研磨垫加压的方法
D. 无法必免的机械损耗

[多选题]空气污染物按照处理性质来分：有（）。

A. 酸碱性气体
B. 有机性气体
C. 特殊毒性气体
D. 水蒸汽
E. 中性气体

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