阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、加热法(heating method)、红外线(infrared)、热空气(warm air)、不均匀(uneven)、离子束的引出

[单选题]阳树脂用盐酸做再生液，浓度为（）溶液可用原水配制。

A. 5％
B. 10%
C. 15%
D. 20%

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学习资料：

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。

A. 1050～1200℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 1200～1350℃

[单选题]在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。

A. 热空气对流法
B. 真空热平板传导法
C. 红外线辐射法
D. 射频感应加热法

[单选题]离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。

A. 低
B. 高
C. 均匀
D. 不均匀^(uneven)

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