保持镀膜机开门时间尽可能的短，是为了防止真空室内部的护板吸附

【名词&注释】

真空度(vacuum)、真空镀膜(vacuum coating)、离子源(ion source)、镀膜机(coating equipment)、电子枪灯丝(electron gun filament)

[填空题]保持镀膜机开门时间尽可能的短，是为了防止真空室内部的护板吸附空气中的（），使镀膜机的抽速变（），影响产品的品质。

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学习资料：

[多选题]镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是（）

A. A、使同圈的膜层厚度分布均匀
B. B、使内外排膜层厚度分布均匀
C. C、使同圈温度分布均匀
D. D、使内外排温度分布均匀

[多选题]对镀膜材料进行预熔的目的是（）。

A. A、去除材料内部的杂质
B. B、改变材料的表面形状
C. C、减少材料的放气
D. D、提高材料的温度

[单选题]真空镀膜时真空度范围应在（）。

A. A、低真空
B. B、中真空
C. C、高真空
D. D、超高真空

[单选题]电子枪“FIL”灯变红，故障原因是（）。

A. A、电子枪高压线路故障
B. B、真空室底下门没有关好
C. C、电子枪灯丝^{(electron gun filament)}有问题
D. D、电子枪电流回路故障

[多选题]提高膜层聚集密度工艺有（）。

A. A、提高离子源功率
B. B、降低温度
C. C、降低真空度
D. D、提高温度

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