光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

【名词&注释】

光刻胶、扩散系数(diffusion coefficient)、载流子浓度(carrier concentration)、感光剂(photosensitizer)、符合要求(meet the requirement)、传输率(transfer rate)、单位面积(unit area)

[多选题]光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

A. 树脂
B. 感光剂
C. HMDS
D. 溶剂
E. PMMA

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学习资料：

[多选题]二氧化硅膜的质量要求有（）。

A. 薄膜表面无斑点
B. 薄膜中的带电离子含量符合要求
C. 薄膜表面无针孔
D. 薄膜的厚度达到规定指标
E. 薄膜厚度均匀，结构致密

[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积^{(unit area)}溶质（）。

A. 传输率^{(transfer rate)}
B. 载流子浓度
C. 扩散梯度
D. 扩散系数

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