【名词&注释】
光刻胶、去离子水(deionized water)、安全问题(security problem)、不均匀(uneven)、化学药品(chemicals)、性问题(sex problem)
[多选题]湿法蚀刻具有以下哪些缺点()。
A. 化学药品(chemicals)处理时人员会遭遇的安全问题
B. 反应溶液及去离子水需花费较高成本
C. 光刻胶会产生附着性问题(sex problem)
D. 蚀刻不均匀
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