2022集成电路制造工艺员（三级）题库试题解析(06.13)

1. [多选题]（）的方法有利于减少热预算。

A. 高压氧化
B. 湿氧氧化^{(wet oxidized)}
C. 掺氯氧化
D. 氢氧合成氧化
E. 等离子增强氧化

2. [单选题]有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。

A. 离子注入
B. 刻蚀
C. 扩散
D. 光刻

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