在相同光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率（）SiO2电

【名词&注释】

离子源(ion source)、电子枪(electron gun)、镀膜机(coating equipment)

[单选题]在相同光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率（）SiO2电子枪功率

A. A、大于
B. B、小于
C. C、等于
D. D、不知道

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[多选题]镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是（）

A. A、使同圈的膜层厚度分布均匀
B. B、使内外排膜层厚度分布均匀
C. C、使同圈温度分布均匀
D. D、使内外排温度分布均匀

[单选题]光驰OTFC镀膜机离子源有（）片栅极片。

A. A、1
B. B、2
C. C、3
D. D、4

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