目前控制膜厚种类有（）。

【名词&注释】

真空度(vacuum)、真空镀膜(vacuum coating)、电子枪(electron gun)、镀膜机(coating equipment)

[多选题]目前控制膜厚种类有（）。

A. A、光学膜厚仪控制
B. B、电子枪控制
C. C、晶振膜厚仪控制
D. D、电脑控制

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学习资料：

[单选题]真空镀膜时真空度范围应在（）。

A. A、低真空
B. B、中真空
C. C、高真空
D. D、超高真空

[单选题]镀膜机^{(coating equipment)}中EB代表的含义（）。

A. A、电脑
B. B、扩散泵
C. C、电子枪
D. D、光斑

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