离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

【名词&注释】

扩散系数(diffusion coefficient)、反应溅射、真空度(vacuum)、磁场强度(magnetic field intensity)、入射角(incident angle)、散射角(scattering angle)、直流溅射(dc sputtering)

[单选题]离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

A. 渐近角
B. 偏折角
C. 散射角^{(scattering angle)}
D. 入射角

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学习资料：

[单选题]表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度，习惯上常用（）。

A. 分凝度
B. 固溶度
C. 分凝系数
D. 扩散系数

[多选题]哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

A. 低温注入
B. 常温注入
C. 高温注入
D. 分子注入
E. 双注入

[单选题]Torr是指（）的单位。

A. 真空度
B. 磁场强度
C. 体积
D. 温度

[多选题]溅射的方法非常多其中包括（）。

A. A.直流溅射^{(dc sputtering)}B.交流溅射C.反应溅射D.二级溅射E.三级溅射

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