光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

【名词&注释】

比热容(specific heat capacity)、单位名称(unit name)、分辨率(resolution)、电子束曝光(electron beam lithography)、离子束(ion beam)、开尔文(kelvin)

[单选题]光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A. 电子束曝光技术
B. 离子束^{(ion beam)}曝光技术
C. X射线曝光技术

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[单选题]比热容单位的符号是J/（kgK），其单位名称应为（）。

A. A、每千克开尔文^(kelvin)焦耳B、焦耳每千克开尔文^(kelvin)C、焦耳每千克每开尔文^(kelvin)D、每千克每开尔文^(kelvin)焦耳

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