集成电路制造工艺员题库2022集成电路制造工艺员（三级）题库历年考试试题集锦(9J)

1. [多选题]下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

A. 投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高
B. 接触式的分辨率优于接近式
C. 接近式的分辨率受到衍射的影响
D. 投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E. 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

2. [多选题]电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

A. 低压仪表
B. 高压仪表
C. 直流仪表
D. 交流仪表
E. 交直流仪表

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