【名词&注释】
化学反应(chemical reaction)、单晶硅(single crystal silicon)、多晶硅(polysilicon)、氮化硅(silicon nitride)、强迫性(obsessive-compulsive)、之所以(the reason that)
[单选题]硅晶片上之所以(the reason that)可以产生薄膜,出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子,它们主要是通过()到达晶片表面的。
A. 粒子的扩散
B. 化学反应
C. 从气体源通过强迫性(obsessive-compulsive)的对流传送
D. 被表面吸附