请在下列选项中选出硅化金属的英文简称：（）。

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、离子注入(ion implantation)、只读存储器(read only memory)、电容器(capacitor)、原子数(atomicity)、保护性元件

[单选题]请在下列选项中选出硅化金属的英文简称：（）。

A. A.OxideB.NitrideC.SilicideD.Polycide

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学习资料：

[多选题]半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。

A. 氧化
B. 改变导电类型
C. 涂层
D. 改变材料性质
E. 镀膜

[多选题]在半导体制造中，熔断丝可以应用在（）。

A. MOS栅极
B. 保护性元件
C. 电容器极板
D. 制造只读存储器PROM
E. 晶圆背面电镀

[单选题]（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数^(atomicity)。

A. 溅射率
B. 溅射系数
C. 溅射效率
D. 溅射比

[多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

A. 电路图形结构的凹凸
B. 尺寸大小
C. 位置分布
D. 高度
E. 密集程度

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