2022集成电路制造工艺员题库集成电路制造工艺员（三级）题库考试题210

1. [单选题]晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置^{(equilibrium position)}，原子在此位置时其势能为（）。

A. 极大值
B. 极小值
C. 既不极大也不极小
D. 小于动能

2. [单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

A. 临界剂量
B. 饱和剂量
C. 无损伤剂量
D. 零点剂量

3. [单选题]下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。

A. 薄膜沉积
B. 薄膜成长
C. 蒸发
D. 溅射

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